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技術(shù)文章/ Technical Articles
小王子介紹WA-790 三次元超音波風(fēng)向風(fēng)速計(jì)(制程品質(zhì)與環(huán)境風(fēng)場(chǎng)有關(guān))
現(xiàn)代高科技工業(yè)廠房,制程環(huán)境的控管可以說是良率提升的關(guān)鍵之一,其設(shè)備、無塵室、實(shí)驗(yàn)室、廠房除了考量自動(dòng)件的精度、原料的品質(zhì)等等外,為了提升或維持良好的制程環(huán)境,而看不見的微弱風(fēng)場(chǎng)將是左右一個(gè)制程良率的隱憂,尤其以前瞻產(chǎn)業(yè)來看,例如電子產(chǎn)品最密不可分的晶圓制造過程中,若因?yàn)橐粋€(gè)風(fēng)場(chǎng)改變而引起揚(yáng)塵很有可能造成相當(dāng)大的損失影響。
然而風(fēng)場(chǎng)的評(píng)估要如何用 且不需接觸、不會(huì)污染環(huán)境、又能清楚呈現(xiàn)量測(cè)資訊的方式進(jìn)行呢?
很高興為您介紹– SONIC 三次元超音波風(fēng)向風(fēng)速計(jì)
有了精確數(shù)據(jù)會(huì)議不再千言萬語
機(jī)能1 以3D立體圖示,可清楚呈現(xiàn)量測(cè)環(huán)境的整體風(fēng)速、風(fēng)向及溫度指標(biāo)。
機(jī)能2 在2D平面可點(diǎn)選任一量測(cè)點(diǎn),即可呈現(xiàn)風(fēng)速、風(fēng)向及溫度精確數(shù)據(jù)。
機(jī)能3 可勾選想要呈現(xiàn)量測(cè)的數(shù)據(jù)即時(shí)曲線,以『風(fēng)速–時(shí)間』呈現(xiàn)。
機(jī)能4 以即時(shí)動(dòng)態(tài)方式呈現(xiàn)環(huán)境的風(fēng)速及風(fēng)向,也可同步錄制,更確實(shí)掌握風(fēng)場(chǎng)變化。
機(jī)能5 量測(cè)的數(shù)據(jù)以CSV檔存取,可用Excel讀取并隨時(shí)取用。
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